星美通信好用嗎,辦理星美通信電銷卡,星美通信怎么購(gòu)買

星美通信就是星美集團(tuán)的通信業(yè)務(wù)品牌，卡資費(fèi)較低，歸屬地齊全，穩(wěn)定耐用，

需要的老板歡迎咨詢！

第4章 電遷移

　　在微電子器件中，金屬互連線大多采用鋁膜。只是因?yàn)殇X具有一些優(yōu)點(diǎn)，如導(dǎo)電率高，能與硅材料形成低阻的歐姆接觸，與二氧化硅層等介質(zhì)膜具有良好的粘附性和便于加工等。但是使用中也存在一些問(wèn)題，如性軟，機(jī)械強(qiáng)度低，容易劃傷；化性活潑，易受腐蝕；在高電流密度時(shí)，抗電遷移能力差。在電路規(guī)模不斷擴(kuò)大，器件尺寸進(jìn)一步減小時(shí)，互連線中電流密度在上升，鋁條中的電遷移現(xiàn)在更為嚴(yán)重，成為VLSI中的一個(gè)主要可靠性問(wèn)題。

　　4.1 電遷移原理
　　當(dāng)器件工作時(shí)，金屬互連線的鋁條內(nèi)有一定電流通過(guò)，金屬離子沿導(dǎo)體產(chǎn)生質(zhì)量的輸運(yùn)，其結(jié)果會(huì)使導(dǎo)體的某些部位產(chǎn)生空洞或晶須(小丘)，這即電遷移現(xiàn)象，在塊狀金屬中，其電流密度較低(小于102A/cm2)，電遷移現(xiàn)象只在接近材料熔點(diǎn)的高溫時(shí)才會(huì)發(fā)生，薄膜材料則不然，淀積在硅襯底上的鋁條，截面積很小和良好的散熱條件，電流密度可高達(dá)107A/cm2，所以在較低的溫度下就會(huì)發(fā)生電遷移。

　　在一定的溫度下，金屬薄膜中存在一定的空位濃度，金屬離子通過(guò)空位而運(yùn)動(dòng)，但自擴(kuò)散只是隨機(jī)地引起原子地重新排列，只有受到外力時(shí)才可產(chǎn)生定向運(yùn)動(dòng)。通電導(dǎo)體中作用在金屬離子上的力F有兩種：一種是電場(chǎng)力Fq，另一種是導(dǎo)電載流子和金屬離子間互相碰撞發(fā)生動(dòng)量交換而使離子產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)的力，這種力叫做摩擦力Fe。對(duì)鋁、金等金屬膜，載流子為電子這時(shí)電場(chǎng)力Fq很小，摩擦力起主要作用，離子流與載流子運(yùn)動(dòng)方向相同。這一摩擦力又稱"電子風(fēng)"